Dertien jaar continu in gebruik. Dat betekent meer dan 21,1 miljard omwentelingen bij 50 Hz. Medio januari 2018 bereikte een Cobra bc droge schroefvacuümpomp deze opmerkelijke mijlpaal in een halfgeleiderfabriek in Duitsland. Dat doet zijn reputatie als robuuste, betrouwbare en onderhoudsarme pomp eer aan.
De betreffende Cobra bc is sinds 2005 onafgebroken in gebruik bij de GlobalFoundries fabriek in Dresden, Duitsland, en is de langst in gebruik zijnde Cobra bc in de fabriek, die bekend staat als Fab 1. Fab 1 was de eerste fabriek ter wereld waar microchips met koperdraad in industriële hoeveelheden werden gemaakt – een technologie die nu de basis vormt voor de halfgeleiderproductie over de hele wereld.
Er zijn in totaal 194 Cobra bc 0100 droge schroefvacuümpompen geïnstalleerd in deze fabriek waar wafers van 300 mm worden gemaakt voor de halfgeleiderindustrie. 47 van deze Cobra bc’s zijn al meer dan 10 jaar continu in gebruik en 22 daarvan hebben de mijlpaal van 100.000 bedrijfsuren (meer dan 11 jaar in gebruik) behaald.
Cobra bc vacuümpompen worden met name gebruikt in load-lock-toepassingen voor epitaxie en physical vapour deposition (PVD) en in andere besmettingsvrijeprocessen voor de verwerking en het meten van wafers om de kwaliteit van het lithografieproces te garanderen.
De Cobra bc 0100 F is een droge schroefvacuümpomp uit de Cobra bc serie die een compacte geavanceerde oplossing biedt voor load-lock-systemen De pomp is uitermate geschikt voor de meest veeleisende toepassingen voor de productie van zonnepanelen, flatscreens en halfgeleiders. Dankzij het unieke schroefpompontwerp biedt deze pomp uitstekende poederverwerkingsmogelijkheden.
De Cobra bc serie is ook beschikbaar in een Premium Efficiency-klasse, waarmee tot 40% op energiekosten kan worden bespaard. De Premium Efficiency-klasse is gebaseerd op het bewezen technologieplatform van de Cobra bc.
Busch Vacuümpompen en Systemen heeft een serviceteam in Dresden dat bestaat uit negen servicemonteurs en één teamleider. Het team is 24/7 beschikbaar en garandeert hierdoor de extreem hoge beschikbaarheid van de honderden geïnstalleerde vacuümpompen van Busch. Daarnaast onderhoudt het serviceteam de reductiesystemen voor de afvoer van gassen en dampen.
GlobalFoundries behoort tot de toonaangevende halfgeleiderproducenten van de wereld. In Dresden produceert het bedrijf nodes van 40 nm tot (in de nabije toekomst) 22 nm. De fabriek in Dresden is de grootste fabriek van Europa waar microchips worden gemaakt.
13 jaar in gebruik
